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绿色镀膜技术是指真空离子镀膜、磁控溅射镀膜、蒸发镀膜、离子注入、离子清洁等多项真空复合镀膜技术的集成,涉及真空、机械、光电子、材料改性、表面工程、控制等光机电控一体化多学科领域。其中,真空离子镀膜应用广泛,真空离子镀膜设备类型包括多弧离子镀、电弧放电型真空离子镀、空心阴极离子镀(HCD)、射频离子镀(RFIP)、直流放电二极型(DCIP)、多阴极型、活性反应蒸发镀(ARE)、增强型ARE、低压等离子体离子镀(LFPD)、电场蒸发离子镀、感应加热离子镀、簇团离子束镀等。由此可见,离子镀是一种常见的镀膜技术。


离子镀的技术分类

根据膜层粒子的获得方式,离子镀可以分为蒸发型离子镀和溅射型离子镀,其中蒸发型离子镀又根据放点原理不同可以分为直流二级型离子镀、热丝弧离子镀、空心阴极离子镀以及热阴极离子镀等。直流二级离子镀,通过稳定的辉光放点;空心阴极离子镀和热丝弧离子镀,都是热弧光放电;而阴极电弧离子镀放电类型z特殊,采用了冷弧光放电。



在众多离子电镀技术中,卷发棒电镀,阴极电弧离子镀是集大成者,目前逐渐发展为硬质薄膜领域的主力。首先,带有正电位的引弧针靠近带有负电位的靶材,阴阳两极之间距离足够小的时候,两极之间的气体会被击穿,形成胡电流,此时,部分氮气发生离化,形成氮的阳离子以及电子。受到电场力的吸引,接下来氮的阳离子会飞翔阴极靶材附近,而电子会飞向引弧针,当电子到达阳极时,卷发棒电镀加工厂,粒子将不能到达阴极靶面,卷发棒电镀加工价格,而是在距离靶面较近的位置富集,形成正离子堆积层。然后电子会飞向正离子堆积层,形成电流,堆积层和靶面被导通,在靶面附近产生电弧,蒸发了靶材,同时吸引正离子,产生溅射。


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